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橋架系列

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	DMFMH質量流量計	質量流量計在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上，采用這樣的橋式方式制作有利于傳感器，使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差，在芯片周圍形成固定的溫度場分布。

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